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详细介绍
力/扭矩平衡传感器（样品应力直接量测）
| 传感器类型 | 力/扭矩平衡 |
| 传感器扭矩伺服电机 | 无刷直流 |
| 传感器法向/轴向伺服电机 | 无刷直流 |
| 振荡 小扭矩 | 0.05μN.m |
| 稳态剪切 小扭矩 | 0.1μN.m |
| 删除/广泛扭矩 | 200 mN.m |
| 扭矩分辨率 | 1 nN.m |
| 法向/轴向力范围 | 0.001 至 20 N |
| 传感器轴承 | 通道补偿空气 |
驱动电机（样品变形直接控制）
| 电机删除/广泛扭矩 | 800 mN.m |
| 电机设计 | 无刷直流 |
| 电机轴承 | 宝石空气，蓝宝石 |
| 角位移控制/感应 | 光学编码器 |
| 应变分辨率 | 0.04 μrad |
| 振荡 小角位移 | 1 μrad |
| 稳态剪切删除/广泛角位移 | 无穷大 |
| 角速率范围 | 1 x 10-6 rad/s至 300 rad/s |
| 角频率范围 | 1 × 10-7 rad/s至 628 rad/s |
| 速率切换时间 | 5 ms |
| 应变切换时间 | 10 ms |
正交叠加和动态力学分析模式
| 电机控制 | 力平衡传感器 |
| 传感器振荡 小力 | 0.001 N |
| 传感器删除/广泛力 | 20 N |
| 振荡 小位移 | 0.5μm |
| 振荡删除/广泛位移 | 50μm |
| 位移分辨率 | 10 nm |
| 轴向频率范围 | 1 x 10-5 Hz 至 16 Hz |
步阶电机
| 移动/定位 | 微步阶电机/精密丝杠 |
| 位置测量 | 线性光学编码器 |
| 定位精度 | 0.1 微米 |
温度系统
| 智能识别 | 标配 |
| 强制对流炉，FCO | -150 °C 至 600 °C |
| FCO摄像头 | 选配 |
| 高级 Peltier 系统，APS | -10 °C 至 150 °C |
| Peltier 板 | -40 °C 至 180 °C |
| 密封浴 | -10 °C 至 150 °C |
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